תהליך ייצור של שבבי LED
המטרה העיקרית של ייצור שבבי LED היא לייצר אלקטרודות מגע אפקטיביות ואמינות בעלות אוהם נמוכה, שיכולות לעמוד במפלת המתח המינימלית בין חומרים שניתן למגע ולספק רפידות לחץ לחיבור חוטים, ובמקביל לעמוד בתפוקת אור רבה ככל האפשר. התהליך העיקרי מוצג באיור 27-1
בדיקת חומר אפיטקסיה
ניקוי
ציפוי
פוטוליטוגרפיה
סַגסוֹגֶת
אחסנה
חֲבִילָה
לזהות
גזירה
תהליך הציפוי משתמש בדרך כלל בשיטת אידוי ואקום, המשתמשת בעיקר בחימום התנגדות או בשיטת חימום הפצצת קרן אלקטרונים תחת ואקום גבוה של 1.33*10-4pa כדי להמיס את החומר בלחץ נמוך לאדי מתכת ולהתכסות על פני השטח של החומר המוליך למחצה. בדרך כלל משתמשים בסוג P. מתכות המגע הנפוצות ביותר כוללות AuBe, AuZn וכו'. מתכות המגע בצד N משתמשות לרוב בסגסוגות AuGeNi. הבעיה הנפוצה ביותר בתהליך הציפוי היא ניקוי משטח המוליכים למחצה לפני הציפוי. הציפוי אינו חזק, ושכבת הסגסוגת שנוצרת לאחר הציפוי צריכה לחשוף כמה שיותר מהשטח פולט האור בתהליך הפוטוליתוגרפיה, כך ששכבת הסגסוגת הנותרת תוכל לעמוד בדרישות של אלקטרודות מגע יעילות ואמינות בעלות אוהם נמוכה. ורפידות חיבור תיל. הצורה הנפוצה ביותר היא עיגול. לגב, אם החומר שקוף, יש לחרוט גם עיגול.
לאחר השלמת תהליך הפוטוליתוגרפיה, נדרש תהליך סגסוגת. סגסוגת מבוצעת בדרך כלל תחת הגנת H2 או N2. הזמן והטמפרטורה של סגסוגת מבוססים בדרך כלל על תכונות החומר המוליך למחצה. גורמים כגון צורת תנור הסגסוגת קובעים, בדרך כלל טמפרטורת הסגסוגת בחומר ה-LED האדום-צהוב היא בין 350 מעלות ל-550 מעלות. לאחר סגסוג מוצלח, עקומת ה-IV בין שתי האלקטרודות הסמוכות על פני המוליך למחצה היא בדרך כלל ביחס ליניארי. כמובן, אם השבב הירוק למחצה מסובך יותר בתהליך האלקטרודה, יש להגביר את הצמיחה של סרט הפסיבציה ותהליך תחריט הפלזמה.
שיטת חיתוך למות LED אדום וצהוב דומה לתהליך חיתוך פרוסות סיליקון. בשימוש נפוץ הם להבי גלגל יהלום. עובי הלהב הוא בדרך כלל 25um. עבור תהליך השבב הכחול-ירוק, מכיוון שחומר המצע הוא Al2O3, יש לשרוט אותו בסכין יהלום ולאחר מכן לשבור אותו.
בסיס הזיהוי של שבב הדיודה פולטת האור כולל בדרך כלל בדיקת מתח ההולכה קדימה, אורך הגל, עוצמת האור והמאפיינים ההפוכים שלו.
אריזה בגימור שבב כוללת בדרך כלל אריזות סרט לבן ואריזת סרט כחול. אריזת הסרט הלבן מחוברת בדרך כלל לסרט עם פני השטח של הרפידה, וגם מרווח השבבים גדול ומתאים לתפעול ידני. אריזת הסרט הכחול מודבקת בדרך כלל לסרט מאחור. מגרשי שבבים קטנים יותר מתאימים לאוטומטים.
